کاربید سیلیسیم یک ماده مهم برای کاربردهای مهندسی به علّت خواص عالی­اش نظیر سختی بالا، سایش­پذیری بالا و سازگاری شیمیایی است. بنابراین، کاربید سیلیسیم یک کاندیدای مناسب برای کاربردهایی نظیر قدرت بالا، وسایل الکترونیکی دما بالا و همچنین کاربردهای سایش و برش می­باشد. هدف از پژوهش حاضر سنتز نانو ساختار کاربید سیلیسیم با استفاده از فرآیند آلیاژسازی مکانیکی است. در این پژوهش از کلوخه سیلیسیم و از دوده به عنوان مواد اولیه استفاده گردید. زمان­های آسیاب کاری در این پژوهش 70-0 ساعت بود. به منظور مشخصه­یابی نانو ساختار کاربید سیلیسیم از الگوی پراش پرتو ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی مجهز به تفنگ الکترونی گسیل میدانی در این پژوهش استفاده گردید. نتایج نشان داد که نانو ساختار کاربید سیلیسیم با استفاده از فرآیند آلیاژسازی مکانیکی سنتز و مشخصه­یابی شد و سنتز کاربید سیلیسیم با استفاده از فرآیند آسیاب کاری بالای 50 ساعت می­باشد. بعد از زمان 70 ساعت آسیاب کاری، فاز نانو ساختار کاربید سیلیسیم تشکیل شد. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی تشکیل نانو ساختار کاربید سیلیسیم با اندازه ذرات کمتر از 200 نانومتر را نشان داد. با استفاده از فرآیند آلیاژسازی مکانیکی یک نمونه بهینه از نانو ساختار کاربید سیلیسیم سنتز گردید که می­تواند یک کاندیدای مناسب برای کاربردهایی نظیر صنعت نسوز، سرامیک­ها و وسایل الکترونیکی دما بالا باشد.